Applying acoustic sensing technology to measure and control the delivery of precursor vapors in FCCVD systems

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标题	Applying acoustic sensing technology to measure and control the delivery of precursor vapors in FCCVD systems 相关领域二茂铁甲烷材料科学催化作用化学气相沉积纳米技术升华（心理学）碳纳米管非线性系统化学流量控制（数据）化学工程控制系统流量（数学）度量（数据仓库）温度控制工艺工程计算机科学分析化学（期刊）微流控过程控制互连可靠性（半导体）体积流量蒸汽压饱和（图论）电容感应过程集成过程（计算）反馈控制
网址	https://doi.org/10.1016/j.cej.2025.169461
DOI	10.1016/j.cej.2025.169461 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Journal 作者：Mengqing Gong; Eldar M. Khabushev; Ana Victoria Benavides-Figueroa; Arthur W. N. Sloan; Jui Junnarkar; et al 出版日期：2025-10-10
求助人	青大最亮的仔在 2025-11-11 10:47:37 发布自浙江，悬赏 10 积分
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