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 Applying acoustic sensing technology to measure and control the delivery of precursor vapors in FCCVD systems 相关领域
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期刊：Chemical Engineering Journal 作者：Mengqing Gong; Eldar M. Khabushev; Ana Victoria Benavides-Figueroa; Arthur W. N. Sloan; Jui Junnarkar; et al 出版日期：2025-10-10 |
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