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硅Mie谐振器和全介质彩色超表面的纳米加工
相关领域
单晶硅
材料科学
纳米光刻
硅
谐振器
深反应离子刻蚀
蚀刻(微加工)
电子束光刻
平版印刷术
光电子学
非晶硅
光学
反应离子刻蚀
制作
纳米技术
抵抗
晶体硅
物理
替代医学
病理
图层(电子)
医学
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DOI |
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