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 On the design of a two-way piezoelectric MEMS microspeaker based on a multi-shape cantilever array for high-frequency applications 基于多形悬臂阵列的高频双向压电MEMS微扬声器设计
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Yu‐Chen Chen; Hsu-Hsiang Cheng; Ming-Ching Cheng; Sung-Cheng Lo; Chun-Kai Chan; et al 出版日期：2023-05-23 |
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