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 Micro- and nanofabrication technologies using the nanopositioning and nanomeasuring machines 使用纳米定位和纳米测量机的微米和纳米制造技术
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期刊：Optical Measurement Systems for Industrial Inspection XI 作者：Laura Weidenfeller; Martin Hofmann; Johannes Kirchner; Shraddha Supreeti; Ivo W. Rangelow; et al 出版日期：2019-06-21 |
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