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[高分]
 Effect of the hydrogen dilution on the local microstructure in hydrogenated amorphous silicon films deposited by radiofrequency magnetron sputtering 氢稀释对射频磁控溅射氢化非晶硅薄膜局部微结构的影响
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期刊：The European Physical Journal Applied Physics 作者：M. Daouahi; K. Zellama; H. Bouchriha; P. Elkaïm 出版日期：2003-06-20 |
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