Impacts of substrate materials on microstructure and electrochemical properties of Ti/TiN/TiON laminated films for gene sequencing chips

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标题	Impacts of substrate materials on microstructure and electrochemical properties of Ti/TiN/TiON laminated films for gene sequencing chips 衬底材料对基因测序芯片用Ti/TiN/TiN层压膜微观结构和电化学性能的影响相关领域锡微观结构材料科学基质（水族馆）电化学纳米技术冶金光电子学电极化学海洋学物理化学地质学
网址	https://doi.org/10.1016/j.apmt.2024.102524
DOI	10.1016/j.apmt.2024.102524 doi
其它	期刊：Applied Materials Today 作者：Mengxiao Wang; Jin Xu; Yunpeng Su; Jiaye Gu; Nana Sun; et al 出版日期：2024-11-19
求助人	HappyFlight9898 在 2025-06-10 07:26:13 发布，悬赏 10 积分
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