Impacts of substrate materials on microstructure and electrochemical properties of Ti/TiN/TiON laminated films for gene sequencing chips

微观结构 材料科学 基质(水族馆) 电化学 纳米技术 冶金 光电子学 电极 化学 海洋学 物理化学 地质学
作者
Mengxiao Wang,Jin Xu,Yunpeng Su,Jiaye Gu,Nana Sun,Jinyang Sui,Bin Zhang,Dayu Zhou
出处
期刊:Applied Materials Today [Elsevier BV]
卷期号:41: 102524-102524
标识
DOI:10.1016/j.apmt.2024.102524

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