Effects of impedance matching network on the discharge mode transitions in a radio-frequency inductively coupled plasma

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标题	Effects of impedance matching network on the discharge mode transitions in a radio-frequency inductively coupled plasma 阻抗匹配网络对射频电感耦合等离子体放电模式转变的影响相关领域物理电容等离子体感应耦合等离子体阻抗匹配无线电频率电阻抗模式（计算机接口）原子物理学电气工程电极量子力学计算机科学操作系统工程类
网址	https://doi.org/10.1063/1.2931038
DOI	10.1063/1.2931038 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Zhenfeng Ding; Yuan Gu; Wanshan Gao; Jingjing Sun 出版日期：2008-06-01
求助人	笨笨的仙人掌在 2025-05-12 20:00:56 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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