| 标题 |
 Damage-free and ultra-smooth chemical mechanical polishing of calcium fluoride crystal surfaces 氟化钙晶体表面的无损伤超光滑化学机械抛光
相关领域
抛光
化学机械平面化
材料科学
钙
Crystal（编程语言）
复合材料
冶金
计算机科学
程序设计语言
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期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Jiaqi Li; Haixiang Hu; Guanbo Qiao; Erhui Qi; Yang Bai; et al 出版日期：2025-04-08 |
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