A Method for Measuring and Correcting Errors in the Thickness of Semiconductor Thin Films Based on Reflection Spectroscopy Fitting Technology

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标题	专利、报告等 A Method for Measuring and Correcting Errors in the Thickness of Semiconductor Thin Films Based on Reflection Spectroscopy Fitting Technology
网址	http://dx.doi.org/10.2139/ssrn.4585254
DOI	10.2139/ssrn.4585254 doi
其它	期刊：Elsevier BV 作者：Jiaxing Sun; Zhisong Li; Haojie Zhang; Jinlong Song 出版日期：2023-01-01
求助人	ning 在 2026-08-04 15:55:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
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