A novel high throughput probe microscope: for measuring 3D structures, designed for in-line, integrated or standalone operation

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标题	A novel high throughput probe microscope: for measuring 3D structures, designed for in-line, integrated or standalone operation
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2551693
DOI	10.1117/12.2551693 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV 作者：Andrew D. L. Humphris; Lei Feng; Matthew Tedaldi; Lawrence Mudarikwa; David Ockwell; et al 出版日期：2020-03-20
求助人	徐德民在 2026-07-29 13:02:19 发布自北京，悬赏 20 积分
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