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标题
Heat transfer and mixing in initiated chemical vapor deposition analyzed by in situ gas composition sensing
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00049...
DOI
10.1116/6.0004995 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Simon Shindler; Rong Yang
出版日期：2025-12-31
求助人
jozz 在 2026-07-20 23:36:14 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 2个月前，求助关闭

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  • 2个月前

    jozz jozz Lv3 求助人 发起了本次求助

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