Effect of substrate bias on microstructure of epitaxial film grown by HiPIMS: An atomistic simulation

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标题	Effect of substrate bias on microstructure of epitaxial film grown by HiPIMS: An atomistic simulation
网址	https://arxiv.org/pdf/2006.05813
DOI	10.1116/6.0000233 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：M. Kateb; J. Gudmundsson; S. Ingvarsson 出版日期：2020-06-04
求助人	luoshikun 在 2026-10-13 23:17:14 发布自广东，悬赏 10 积分
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