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标题
Adjustable sidewall slopes by electron-beam exposure layout
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.4993724
DOI
10.1116/1.4993724 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
作者：Corinna Kaspar; Jörg Butschke; Mathias Irmscher; Stephan Martens; Holger Sailer; et al
出版日期：2017-08-18
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