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 Kinetic analysis and steric-hindrance effects in thermal atomic layer deposition of high-purity cobalt films with dicobalt hexacarbonyl tert-butylacetylene as the precursor 相关领域
钴
电阻率和电导率
杂质
材料科学
吸附
粘着概率
化学气相沉积
沉积（地质）
分析化学（期刊）
原子层沉积
碳纤维
图层（电子）
薄膜
分压
硅
位阻效应
无机化学
沟槽
电导率
化学工程
微观结构
相（物质）
金属有机气相外延
化学
动能
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Jun Yamaguchi; Noboru Satô; Naoki Tamaoki; A. Tsukune; Takeshi Momose; et al 出版日期：2025-11-11 |
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