In situ collector cleaning and extreme ultraviolet reflectivity restoration by hydrogen plasma for extreme ultraviolet sources

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标题	In situ collector cleaning and extreme ultraviolet reflectivity restoration by hydrogen plasma for extreme ultraviolet sources
网址	http://avs.scitation.org/doi/am-pdf/10.1116/1.4942456
DOI	10.1116/1.4942456 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Daniel T. Elg; John R. Sporre; Gianluca A. Panici; Shailendra N. Srivastava; David N. Ruzic 出版日期：2016-02-24
求助人	Heidi 在 2026-01-21 15:16:05 发布自德国，悬赏 10 积分
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American Association for Cancer Research (AACR)

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