| 标题 |
Leakage Current Characteristics of Atomic Layer Deposited Al-Doped TiO2Thin Film for Dielectric in DRAM Capacitor 相关领域
材料科学
薄膜
兴奋剂
结晶度
电介质
锐钛矿
分析化学(期刊)
X射线光电子能谱
带隙
原子层沉积
光电子学
纳米技术
复合材料
化学工程
光催化
催化作用
工程类
化学
生物化学
色谱法
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)