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 Improving wideband performance for ScAlN based piezoelectric MEMS speaker by multi-mode excitation 多模激励提高基于Scaln的压电Mems扬声器宽带性能
相关领域
宽带
微电子机械系统
压电
材料科学
激发
模式（计算机接口）
声学
电子工程
光电子学
计算机科学
工程类
电气工程
物理
操作系统
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Peng Chen; Yan Wang; Junning Zhang; Zihan Li; Hongbin Yu 出版日期：2025-06-18 |
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