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Multifunctional thin film sensor system as monitoring system in production
用于生产监控的多功能薄膜传感器系统
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期刊:Microsystem technologies 作者:Saskia Biehl; Christian Rumposch; Nancy Paetsch; Günter Bräuer; Dieter Weise; et al 出版日期:2016-02-09 |
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