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 Monolithic radio frequency SiN x self-rolled-up nanomembrane interdigital capacitor modeling and fabrication 单片射频SiN x自卷起纳米膜叉指电容器的建模与制作
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期刊：Nanotechnology 作者：Lei Sang; Hao Zhou; Zhendong Yang; Mark Kraman; Haojie Zhao; et al 出版日期：2019-05-23 |
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