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 Enhanced reliability and uniformity for Ge pMOSFET with low temperature supercritical fluid treatment 低温超临界流体处理提高Ge pMOSFET的可靠性和均匀性
相关领域
材料科学
可靠性（半导体）
超临界流体
锗
MOSFET
光电子学
工程物理
可靠性工程
电子工程
电气工程
热力学
硅
晶体管
工程类
功率（物理）
物理
电压
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| 其它 |
期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Dun‐Bao Ruan; Kuei-Shu Chang-Liao; Ji-Syuan Li; Bo-Lien Kuo; Zi-Qin Hong; et al 出版日期：2021-08-20 |
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