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Enhanced reliability and uniformity for Ge pMOSFET with low temperature supercritical fluid treatment

材料科学 可靠性（半导体） 超临界流体 锗 MOSFET 光电子学 工程物理 可靠性工程 电子工程 电气工程 热力学 硅 晶体管 工程类 物理 功率（物理） 电压
作者
Dun‐Bao Ruan,Kuei-Shu Chang-Liao,Ji-Syuan Li,Bo-Lien Kuo,Zi-Qin Hong,Guan‐Ting Liu,Po‐Tsun Liu
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2021-08-20 卷期号：423: 127632-127632 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2021.127632
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