Morphological characteristics and formation mechanism of latent scratches in chemical mechanical polishing

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标题	Morphological characteristics and formation mechanism of latent scratches in chemical mechanical polishing 化学机械抛光中潜在划痕的形貌特征及形成机理相关领域材料科学抛光潜在抑制接触面积高斯分布透射电子显微镜复合材料纳米技术化学数学条件作用统计经典条件反射计算化学
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S09240...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1016/j.jmatprotec.2022.117689 doi
其它	Journal of Materials Processing Technology Volume 307, September 2022, 117689
求助人	porous 在 2025-08-02 11:00:40 发布自山东，悬赏 10 积分
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