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![]() 用倾斜离子注入技术实现的Si双层隧道场效应晶体管结构
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期刊:Solid-State Electronics 作者:Kimihiko Kato; Hidehiro Asai; Koichi Fukuda; Takahiro Mori; Yukinori Morita 出版日期:2021-04-30 |
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