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标题
Hygroscopic fluorine‐doped silicon oxide thin‐film‐based large‐area three‐layered moisture barrier using a roll‐to‐roll microwave plasma‐enhanced chemical vapor deposition system
使用卷对卷微波等离子体增强化学气相沉积系统的基于吸湿性氟掺杂氧化硅薄膜的大面积三层防潮层
相关领域
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网址
DOI
10.1002/ppap.202200001 doi
其它 期刊:Plasma Processes and Polymers
作者:Won Jae Lee; Tae‐Yeon Cho; Ji‐Ho Eom; Jae‐Seong Park; Juwhan Ryu; et al
出版日期:2022-06-02
求助人
杨小小 在 2025-08-17 16:49:10 发布自江苏,悬赏 10 积分
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