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 Hygroscopic fluorine‐doped silicon oxide thin‐film‐based large‐area three‐layered moisture barrier using a roll‐to‐roll microwave plasma‐enhanced chemical vapor deposition system 使用卷对卷微波等离子体增强化学气相沉积系统的基于吸湿性氟掺杂氧化硅薄膜的大面积三层防潮层
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期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Won Jae Lee; Tae‐Yeon Cho; Ji‐Ho Eom; Jae‐Seong Park; Juwhan Ryu; et al 出版日期：2022-06-02 |
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