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 Identification of Active Sites for Thermal Oxidation-Induced Doping and Etching in CVD-Grown Monolayer Transition Metal Dichalcogenides CVD单层过渡金属二硫族化物热氧化诱导掺杂和刻蚀活性位点的鉴定
相关领域
单层
过渡金属
材料科学
化学气相沉积
蚀刻（微加工）
兴奋剂
掺杂剂
硫族元素
各向同性腐蚀
热氧化
纳米技术
化学工程
光化学
光电子学
图层（电子）
化学
结晶学
催化作用
有机化学
工程类
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| 其它 |
期刊：ACS applied nano materials 作者：Linghui Fang; Liqin Su; Haibiao Guan; Zehao Liu; Yue Yu; et al 出版日期：2024-02-20 |
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