Etching characteristics of crystal quartz by surface wave microwave induced plasma

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标题	Etching characteristics of crystal quartz by surface wave microwave induced plasma
网址	https://doi.org/10.1117/12.2574947
DOI	10.1117/12.2574947 doi
其它	期刊：AOPC 2020: Optics Ultra Precision Manufacturing and Testing 作者：Adam Bennett; Nan Yu; Marco Castelli; Guoda Chen; Fengzhou Fang; et al 出版日期：2020
求助人	复杂的小翠在 2026-05-08 16:06:33 发布自陕西，悬赏 20 积分
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