Machine-learning-driven prediction of thin film parameters for optimizing the dielectric deposition in semiconductor fabrication

已关闭

文献求助详情

标题	Machine-learning-driven prediction of thin film parameters for optimizing the dielectric deposition in semiconductor fabrication
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016792602...
DOI	10.1016/j.vlsi.2025.102617 doi
其它	期刊：Integration 作者：Hao Wen; Enda Zhao; Qiyue Zhang; Ruofei Xiang; Wenjian Yu 出版日期：2025-12-02
求助人	河西在 2026-05-30 15:21:56 发布自辽宁，悬赏 10 积分
下载

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

3个月前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
3个月前

河西 Lv5 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 深情安青上传了应助文件

刚刚; 九月发布了新的文献求助10

刚刚; zhuli发布了新的文献求助10

1秒前; 慧慧完成签到，获得积分10

1秒前; 可爱小猫咪发布了新的文献求助10

1秒前; peter1发布了新的文献求助10

2秒前; 医路成功完成签到，获得积分10

2秒前; 科研通AI6.4的应助被天外来物采纳，获得10

2秒前; Miracle发布了新的文献求助20

3秒前; 李健的粉丝团团长的应助被zz采纳，获得10

3秒前; 聪慧小蝴蝶完成签到，获得积分10

4秒前; Lucas的应助被AoAoo采纳，获得10

4秒前; Owen上传了应助文件

4秒前; 赘婿上传了应助文件

4秒前; 乐乐的应助被todayisirene采纳，获得10

4秒前; 吕亚发布了新的文献求助10

4秒前; 可爱的函函的应助被顺心纸鹤采纳，获得10

4秒前; qwe31533完成签到，获得积分10

5秒前; 共产主义战士上传了应助文件

5秒前; Happy发布了新的文献求助10

6秒前; 无私白羊发布了新的文献求助10

6秒前; JamesPei上传了应助文件

6秒前; 领导范儿的应助被送我上青云采纳，获得10

6秒前; cdercder上传了应助文件

6秒前; 皮蛋瘦肉完成签到，获得积分10

6秒前; 英姑上传了应助文件

7秒前; 李爱国的应助被玛卡巴卡采纳，获得10

8秒前; zx发布了新的文献求助10

8秒前; 酱酱上传了应助文件

8秒前; gusgusgus完成签到，获得积分10

8秒前; 爱吃米线完成签到，获得积分10

9秒前; 情怀的应助被谢某某102097采纳，获得10

9秒前; 詹亚雄发布了新的文献求助30

9秒前; lina发布了新的文献求助30

9秒前; MOFS发布了新的文献求助10

9秒前; 缪甲烷完成签到，获得积分10

11秒前; 雪白萝发布了新的文献求助10

11秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

12秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

12秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

12秒前