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标题
Spectroscopic ellipsometry studies on hydrogenated amorphous silicon thin films deposited using DC saddle field plasma enhanced chemical vapor deposition system
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060901...
DOI
10.1016/j.tsf.2010.12.074 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Jhantu Kumar Saha; Barzin Bahardoust; Keith Leong; Adel B. Gougam; Nazir P. Kherani; Stefan Zukotynski
出版日期：2010-12-22
求助人
朱马大 在 2026-05-22 15:47:12 发布自浙江，悬赏 10 积分
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