Ultrathin ferroic HfO2–ZrO2 superlattice gate stack for advanced transistors

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标题	Ultrathin ferroic HfO2–ZrO2 superlattice gate stack for advanced transistors
网址	https://escholarship.org/content/qt18h3f02f/qt18h3f02f.pdf
DOI	10.1038/s41586-022-04425-6 doi
其它	期刊：Nature 作者：S. Cheema; N. Shanker; Li-Chen Wang; Cheng-Hsiang Hsu; S. Hsu; et al 出版日期：2022-04-01
求助人	histhb 在 2026-07-06 15:39:02 发布自河南，悬赏 10 积分
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