The effect of amino acid addition in CeO2-based slurry on SiO2/Si3N4 CMP: Removal rate selectivity, morphology, and mechanism research

已完结

文献求助详情

标题	The effect of amino acid addition in CeO2-based slurry on SiO2/Si3N4 CMP: Removal rate selectivity, morphology, and mechanism research
网址	https://doi.org/10.1016/j.molliq.2024.125855
DOI	10.1016/j.molliq.2024.125855 doi
其它	期刊：Journal of Molecular Liquids 作者：Xinyu Han; Shihao Zhang; Renhao Liu; Fangyuan Wang; Baimei Tan; et al 出版日期：2024-08-25
求助人	bibi11 在 2026-07-18 15:59:11 发布自中国，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 华仔的应助被傻子与白痴采纳，获得10

刚刚; wanci上传了应助文件

1秒前; 壮观血茗完成签到，获得积分20

2秒前; 酷波er上传了应助文件

3秒前; 隐形曼青上传了应助文件

3秒前; CipherSage上传了应助文件

3秒前; 大气山兰完成签到，获得积分10

4秒前; molihuakai上传了应助文件

5秒前; song发布了新的文献求助10

6秒前; 田様上传了应助文件

6秒前; 阔达的书本发布了新的文献求助10

6秒前; amy完成签到，获得积分10

7秒前; pluto上传了应助文件

7秒前; 活泼的海豚发布了新的文献求助10

8秒前; jielo发布了新的文献求助10

8秒前; 剁辣椒蒸鱼头完成签到，获得积分10

8秒前; Jasper上传了应助文件

8秒前; Yx完成签到，获得积分10

9秒前; liusoojoo完成签到，获得积分10

9秒前; 蟹钳草完成签到，获得积分10

9秒前; 大气灵枫发布了新的文献求助10

9秒前; 喷喷完成签到，获得积分10

11秒前; lucky发布了新的文献求助10

11秒前; 浮生若梦完成签到，获得积分10

11秒前; zhenghua完成签到，获得积分10

12秒前; cici发布了新的文献求助10

12秒前; Whisper发布了新的文献求助10

13秒前; 巧克力手印发布了新的文献求助10

14秒前; nana关注了科研通微信公众号

14秒前; mcywa完成签到，获得积分20

15秒前; 无花果上传了应助文件

17秒前; 丘比特上传了应助文件

17秒前; 共享精神的应助被Jello采纳，获得10

18秒前; 田様的应助被傻子与白痴采纳，获得10

20秒前; 华仔上传了应助文件

20秒前; 帅气的麦片完成签到，获得积分10

20秒前; 甜美的瑾瑜完成签到，获得积分10

21秒前; 优雅老六发布了新的文献求助10

22秒前; 3333333333上传了应助文件

22秒前; 思源的应助被rain采纳，获得10

22秒前