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On the role of the energetic species in TiN thin film growth by reactive deep oscillation magnetron sputtering in Ar/N2
网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2017.10.052
DOI
10.1016/j.tsf.2017.10.052 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：J.C. Oliveira; Filipe Fernandes; R. Serra; A. Cavaleiro
出版日期：2017-10-28
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