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标题
Suppression of Threshold Voltage Variation by TiN Surface Treatment for N-FinFETs With Very Thin Work Function Metal Layers
TiN表面处理抑制具有极薄功函数金属层的N-FinFETs的阈值电压变化
相关领域
锡 光刻胶 图层（电子） 符号 材料科学 涂层 蚀刻（微加工） 数学 算法 纳米技术 冶金 算术
网址
https://doi.org/10.1109/ted.2023.3241271
DOI
10.1109/ted.2023.3241271 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：Huang Tao; Run-Ling Li; Han-Lun Cai; Zhao-Yang Li; Yu-Long Jiang
出版日期：2023-04-01
求助人
Alvin 在 2023-08-17 16:29:29 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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