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 Detailed phisyco-chemical characterization of the multilayered thin films based on titanium oxynitride and copper doped titanium nitride obtained by different PVD techniques 通过不同PVD技术获得的基于氧氮化钛和铜掺杂氮化钛的多层薄膜的详细物理化学表征
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期刊：Vacuum 作者：Vukoman Jokanović; Nenad Bundaleski; Božana Čolović; Manuela Ferarra; Bojan Jokanović; et al 出版日期：2021-11-02 |
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