Study of molecular layer deposition of zinc-based hybrid film as photoresist

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标题	Study of molecular layer deposition of zinc-based hybrid film as photoresist 分子层沉积锌基杂化膜作为光刻胶的研究相关领域光刻胶图层（电子）沉积（地质）锌材料科学纳米技术化学工程冶金工程类地质学古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161727
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.161727 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Yiyang Shan; Xingkun Wang; Xu Zheng; Xiang Zhao; Ze Feng; et al 出版日期：2024-11-13
求助人	肖遥在 2025-06-16 16:43:40 发布自四川，悬赏 10 积分
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