Characteristics of inductively coupled plasma radio frequency ion sources in commercial ion implanters

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标题	Characteristics of inductively coupled plasma radio frequency ion sources in commercial ion implanters 商用离子注入机中电感耦合等离子体射频离子源的特性
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004560
DOI	10.1116/6.0004560 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Jong Jin Hwang; Hyo Jun Sim; Seung Jae Moon 出版日期：2025
求助人	朵拉在 2025-05-29 11:17:40 发布自湖南，悬赏 10 积分
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