Investigation of the superconducting properties of NbN films deposited by DC magnetron sputtering on a high-k dielectric HfO2 buffer layer - 科研通

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标题	Investigation of the superconducting properties of NbN films deposited by DC magnetron sputtering on a high-k dielectric HfO2 buffer layer 高k介质HfO2缓冲层上直流磁控溅射NbN薄膜的超导性能研究相关领域氮化铌材料科学哈夫尼亚缓冲器（光纤）溅射沉积光电子学图层（电子）电介质腔磁控管薄膜氮化物超导电性铌溅射复合材料陶瓷纳米技术冶金电气工程凝聚态物理立方氧化锆工程类物理
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6668/ac216a
DOI	10.1088/1361-6668/ac216a doi
其它	期刊：Superconductor Science and Technology 作者：N. V. Porokhov; Anna P. Sirotina; E. A. Pershina; М.В. Шибалов; G. D. Diudbin; et al 出版日期：2021-08-26
求助人	easonchen12312 在 2025-05-29 14:26:37 发布自青海，悬赏 10 积分
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