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标题
Preparation of YbAlN piezoelectric thin film by sputtering and influence of Yb concentration on properties and crystal structure
溅射法制备YbAlN压电薄膜及Yb浓度对性能和晶体结构的影响
相关领域
材料科学 掺杂剂 钪 溅射 兴奋剂 氮化物 压电 薄膜 衍射 Crystal（编程语言） 晶体结构 铝 镱 纳米技术 分析化学（期刊） 光电子学 结晶学 复合材料 冶金 光学 图层（电子） 物理 化学 程序设计语言 色谱法 计算机科学
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.02.177
AI链接 sciencedirect.comdoi.org
DOI
10.1016/j.ceramint.2021.02.177 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Masato Uehara; Yuki Amano; Sri Ayu Anggraini; Kenji Hirata; Hiroshi Yamada; et al
出版日期：2021-02-21
求助人
涉沧浪 在 2025-05-31 05:06:09 发布，悬赏 10 积分
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