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标题
High mobility cerium-doped indium oxide thin films prepared by reactive plasma deposition without oxygen
无氧反应等离子体沉积制备高迁移率铈掺杂氧化铟薄膜
相关领域
材料科学 氧化铈 薄膜 氧气 沉积(地质) 氧化物 等离子体 兴奋剂 化学工程 无机化学 化学 纳米技术 光电子学 冶金 古生物学 物理 量子力学 沉积物 工程类 生物 有机化学
网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111512 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Yanping Zhang; Yu Gan; Gan Tian; Lili Wu; Jingquan Zhang; et al
出版日期:2022-09-21
求助人
wh 在 2025-05-07 22:12:52 发布自江苏,悬赏 10 积分
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