Many routes to ferroelectric HfO2: A review of current deposition methods

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标题	Many routes to ferroelectric HfO2: A review of current deposition methods 制备铁电HfO2的多种途径：当前沉积方法综述相关领域铁电性脉冲激光沉积沉积（地质）材料科学物理气相沉积薄膜原子层沉积纳米技术化学气相沉积基质（水族馆）工程物理光电子学电介质地质学工程类海洋学古生物学沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0001317
DOI	10.1116/6.0001317 doi
求助人	席孤风在 2023-11-17 13:25:20 发布自贵州，悬赏 10 积分
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