Alternative mask materials for low-k1 EUV imaging

已关闭

文献求助详情

标题	Alternative mask materials for low-k1 EUV imaging
网址	https://doi.org/10.1117/12.2535682
DOI	10.1117/12.2535682 doi
其它	期刊：35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019) 作者：Frank J. Timmermans; Claire van Lare; Jo Finders; Uwe F. Behringer; Jo Finders 出版日期：2019
求助人	斯文败类虎在 2026-06-02 15:24:05 发布自广东，悬赏 20 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

10小时前，求助关闭

斯文败类虎 Lv1 求助人关闭了本次求助。

说明太久没应助【积分已退回】
11小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:24:08 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:24:06 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献

15:24:05 已向机器人发送请求
11小时前

斯文败类虎 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: wyx完成签到，获得积分10

9秒前; yuqinghui98完成签到，获得积分10

11秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

37秒前; 刻苦的媚颜完成签到，获得积分10

50秒前; Akim的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 2226的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 麻绳青年完成签到，获得积分20

1分钟前; DarknessDuck驳回了JamesPei的应助

1分钟前; 麻绳青年关闭了麻绳青年的文献求助

1分钟前; 自然的荠发布了新的文献求助50

1分钟前; AllRightReserved上传了应助文件

1分钟前; Alice完成签到，获得积分10

1分钟前; Jiangpeng Wu完成签到，获得积分10

1分钟前; 香蕉觅云的应助被sjx采纳，获得10

1分钟前; 共享精神的应助被体贴成危采纳，获得10

2分钟前; wdlc完成签到，获得积分10

2分钟前; haoqingyun发布了新的文献求助10

2分钟前; 共享精神上传了应助文件

2分钟前; molihuakai上传了应助文件

2分钟前; 体贴成危发布了新的文献求助10

2分钟前; JamesPei上传了应助文件

2分钟前; 华志文发布了新的文献求助10

2分钟前; DarknessDuck发布了新的文献求助10

2分钟前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

2分钟前; caca完成签到，获得积分0

2分钟前; 星辰大海的应助被华志文采纳，获得10

3分钟前; 2226的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 2226的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 李健的小迷弟的应助被体贴成危采纳，获得10

3分钟前; haoqingyun完成签到，获得积分10

3分钟前; 桐桐的应助被yuuui采纳，获得10

3分钟前; fabius0351完成签到，获得积分10

3分钟前; 李健的小迷弟上传了应助文件

4分钟前; 体贴成危发布了新的文献求助10

4分钟前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

4分钟前; 科研通AI6.1上传了应助文件

4分钟前; 上官若男上传了应助文件

4分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

4分钟前; 科研通AI6.1上传了应助文件

4分钟前