Fabrication of a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) with dual heterogeneous piezoelectric thin film stacking

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标题	Fabrication of a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) with dual heterogeneous piezoelectric thin film stacking
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6439/ad2306
DOI	10.1088/1361-6439/ad2306 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Xuanmeng Qi; Shinya Yoshida; Sarah Risquez; Anirban Ghosh; Mohssen Moridi; Shuji Tanaka 出版日期：2024-01-27
求助人	cc 在 2026-03-25 12:47:47 发布自山东，悬赏 10 积分
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