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 Improved anchor design for flat MEMS structure by suppressing deformation due to buried-oxide stress on silicon-on-insulator wafer 通过抑制绝缘体上硅晶片上埋藏氧化物应力引起的变形来改进扁平MEMS结构的锚定设计
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绝缘体上的硅
微电子机械系统
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压力（语言学）
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Motohiro Fujiyoshi; Takashi Ozaki; Y. Omura; Hirofumi Funabashi; T. Akashi; et al 出版日期：2021-02-11 |
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