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标题
Calibration of a MOx-specific EUV photoresist lithography model
MOx专用EUV光刻胶光刻模型的校准
相关领域
极紫外光刻 抵抗 平版印刷术 材料科学 计算光刻 浸没式光刻 纳米技术 多重图案 光学 光电子学 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2552151
DOI
10.1117/12.2552151 doi
其它 期刊：
作者：Craig D. Needham; Amrit Narasimhan; Ulrich Welling; Lawrence S. Melvin; Peter De Schepper; et al
出版日期：2020-03-23
求助人
snakersnaker 在 2025-10-27 07:48:11 发布自湖北，悬赏 20 积分
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    snakersnaker snakersnaker Lv3 求助人 发起了本次求助

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