| 标题 |
  Fabrication of silicon nitride waveguides for visible-light using PECVD: a study of the effect of plasma frequency on optical properties 相关领域
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
折射率
氮化硅
光学
光电子学
制作
波导管
硅
化学气相沉积
退火（玻璃）
等离子体
可见光谱
复合材料
物理
医学
量子力学
替代医学
病理
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| 网址 | |
| DOI |
10.1364/oe.16.013509
doi
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| 其它 |
期刊：Optics Express 作者：A. Gorin; A. Jaouad; E. Grondin; V. Aimez; P. Charette 出版日期：2008-08-18 |
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