Reliability of Low-Parasitic-Capacitance Multilevel Interconnection Using Surface-Densified Low-ε Organic Spin-on Glass - 科研通

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标题	Reliability of Low-Parasitic-Capacitance Multilevel Interconnection Using Surface-Densified Low-ε Organic Spin-on Glass
网址	http://dx.doi.org/10.7567/ssdm.1996.a-5-5
DOI	10.7567/ssdm.1996.a-5-5 doi
其它	期刊：Extended Abstracts of the 1996 International Conference on Solid State Devices and Materials 作者：Takeshi FURUSAWA; Yoshio HOMMA 出版日期：1996-08-27
求助人	LL 在 2026-10-14 10:17:04 发布，悬赏 10 积分
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