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标题
Surface oxidation properties of GaN wafers in chemical magnetorheological polishing process by ultrasonic action
网址
https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2025.03.019
DOI
10.1016/j.precisioneng.2025.03.019 doi
其它 期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
作者：Huazhuo Liang; Wenjie Chen; Youzhi Fu; Yue Jian; Wenjie Zhou; et al
出版日期：2025-03-23
求助人
pxy 在 2026-07-13 17:30:05 发布自天津，悬赏 10 积分
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