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 Amorphous silicon carbide coatings for extreme ultraviolet optics 用于极紫外光学的非晶碳化硅涂层
相关领域
材料科学
碳化硅
光学
涂层
无定形固体
非晶硅
光电子学
硅
薄膜
紫外线
极端紫外线
光学涂层
化学气相沉积
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期刊：Applied Optics 作者：Jeffrey B. Kortright; David L. Windt 出版日期：1988-07-15 |
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