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 Investigating the effects of etching systems and low-temperature thermal processing on hafnium zirconium oxide thin film properties 研究蚀刻系统和低温热处理对氧化二氮氧化物薄膜性能的影响
相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Wen-Hsi Lee; Tzu-Chiang Kuo; Chien‐Chun Hung; Tai‐Chen Kuo 出版日期：2024-12-13 |
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