A Weakly Coupled Tuning Fork MEMS Electric Field Sensor With High Resolution and Wide Measurement Range

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标题	A Weakly Coupled Tuning Fork MEMS Electric Field Sensor With High Resolution and Wide Measurement Range 一种高分辨率宽测量范围的弱耦合音叉MEMS电场传感器相关领域音叉微电子机械系统电场航程（航空）材料科学领域（数学）光电子学物理声学数学复合材料量子力学纯数学振动
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3518622
DOI	10.1109/jmems.2024.3518622 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Guijie Wang; S.S. Hou; Lixin Ran; Jianhua Li; Bo Zhang; et al 出版日期：2024-01-01
求助人	xiaoming 在 2025-05-20 13:47:04 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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